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Industrie électronique

Les progrès rapides de l'industrie électronique sont motivés par la miniaturisation continue de ses composants, les dimensions des « puces » toujours plus petites en front-end, plus complexes à intégrer en back-end, et une plus grande densité de composants à implanter sur les PCB. Ces progrès exigent une précision de positionnement et une fidélité de trajectoire toujours plus grande des technologies de mesure et de mouvement utilisées.
Les plates-formes d'ETEL équipées de codeurs HEIDENHAIN, en plus des contrôleurs de position et de mouvement ETEL, offrent une précision de positionnement et des performances dynamiques exceptionnelles pour ces applications. Les codeurs NUMERIK JENA et RSF complètent cette offre de solutions haut de gamme. 

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Nos produits phares pour la fabrication de semi-conducteurs et de composants électroniques

Applications front-end dans la fabrication de semi-conducteurs

Systèmes de mesure linéaire, systèmes de mesure angulaire et systèmes de positionnement conformes aux exigences de précision particulièrement élevées du processus de lithographie

Applications back-end dans la fabrication de semi-conducteurs

Espace de montage exigu et dynamique élevée : vous trouverez ici les systèmes de mesure et les systèmes de positionnement qu’il vous faut pour le wire bonding et le packaging.

Composants dans la fabrication électronique

Ces systèmes de mesure linéaire et angulaire ainsi que ces systèmes de positionnement permettent un positionnement précis hautement dynamique à l’intérieur de vos installations de fabrication de composants électroniques.

Technologie des LED et des écrans

Du smartphone au téléviseur grand écran : pendant le processus de fabrication, nos systèmes de mesure linéaire et angulaire assurent un mouvement dynamique et un positionnement exact.

Applications front-end dans la fabrication de semi-conducteurs

Systèmes de mesure linéaire, systèmes de mesure angulaire et systèmes de positionnement conformes aux exigences de précision particulièrement élevées du processus de lithographie

Applications back-end dans la fabrication de semi-conducteurs

Espace de montage exigu et dynamique élevée : vous trouverez ici les systèmes de mesure et les systèmes de positionnement qu’il vous faut pour le wire bonding et le packaging.

Composants dans la fabrication électronique

Ces systèmes de mesure linéaire et angulaire ainsi que ces systèmes de positionnement permettent un positionnement précis hautement dynamique à l’intérieur de vos installations de fabrication de composants électroniques.

Technologie des LED et des écrans

Du smartphone au téléviseur grand écran : pendant le processus de fabrication, nos systèmes de mesure linéaire et angulaire assurent un mouvement dynamique et un positionnement exact.

Les progrès en matière de précision de positionnement se traduisent par des puces et des assemblages électroniques de plus petites dimensions et de plus de fonctions en un seul composant. La précision des systèmes de positionnement ouvre de nouvelles perspectives pour l’industrie des semi conducteurs

Solutions pour la fabrication de semi-conducteurs en front-end

Optimisé pour la fabrication de dies

Les codeurs linéaires nus de HEIDENHAIN sont optimisés pour être utilisés sur des machines dynamiques de haute précision, notamment dans la fabrication de semi-conducteurs en amont, où ils garantissent une grande stabilité à long terme et sont faciles à installer.

Dans ces applications, les codeurs angulaires optiques modulaires sans roulement de la série ERP peuvent être utilisés sur de grands arbres creux et pour des vitesses de rotation élevées allant jusqu'à 20 000 tr/min. Leur masse particulièrement faible et leur faible moment d'inertie annulent le besoin d'un couple de démarrage supplémentaire. C'est un avantage considérable pour les machines utilisées dans la fabrication des semi-conducteurs.

Les systèmes de mouvement ETEL offrent des plateformes allant d'un axe X autonome à des solutions complètes de systèmes à sept axes, couvrant ainsi une large gamme d'applications dans le domaine de la fabrication de semi-conducteurs. L'expertise d'ETEL en matière de moteurs et d'électronique est intégrée verticalement à l'expertise de HEIDENHAIN en matière de contrôle, ce qui se traduit par des avantages significatifs tels qu'une excellente répétabilité bidirectionnelle de ±250 nm.

Systèmes de mesure linéaire à règle nue pour la lithographie
Systèmes de mesure angulaire modulaires
Systèmes de positionnement ETEL pour applications front-end

Technique de mesure et de positionnement pour les applications back-end

Codeurs linéaires pour une large gamme d'applications back-end

Les machines et les systèmes automatisés destinés à la fabrication de semi-conducteurs sont soumis à de nombreuses exigences. HEIDENHAIN, en collaboration avec NUMERIK JENA et RSF, propose des systèmes de mesure linéaire sur mesure pour répondre à toutes ces exigences. De la précision exceptionnelle aux dimensions les plus réduites, toutes les configurations sont possibles pour votre application.

Systèmes de mesure linéaire à règle nue HEIDENHAIN pour un maximum de précision
Codeurs linéaires miniatures de NUMERIK JENA pour espaces de montage exigus
Codeurs linéaires personnalisés de RSF

Mesure angulaire de haute précision dans les applications back-end

Les codeurs rotatifs de haute précision sont indispensables pour assurer le bon positionnement des axes rotatifs dans les applications de fabrication de semi-conducteurs telles que le die bonding et le packaging. HEIDENHAIN propose deux types de solutions : les codeurs angulaires optiques modulaires ERP et ERO ou les modules de codeurs angulaires MRP, qui assurent une intégration rapide et sans erreur au sein de la fonction axe angulaire. Les MRP associent de manière optimale les codeurs angulaires et les roulements de haute précision dans un ensemble caractérisé en précision et en géométrie.

Systèmes de mesure angulaire modulaires et modules de mesure angulaire

Systèmes mécatroniques pour applications exigeantes

ETEL offre une large gamme de systèmes d’axes. Des axes angulaires ou linéaires aux jusqu’aux plates-formes multi axes intégrées. Ces solutions répondent aux exigences de positionnement et de contrôle du mouvement des applications des semi-conducteurs.

Les fabricants de machines des différents processus du semi conducteur se concentrent de cette façon sur leur expertise dans les différentes applications et comptent sur ETEL pour obtenir le système de positionnement et de contrôle des trajectoires requis. Venez découvrir les solutions de mouvement mécatroniques hautes performances d'ETEL.

Systèmes de positionnement ETEL

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Systèmes de mesure pour la fabrication de composants et de circuits imprimés

Les codeurs linéaires nus

Pour le placement des composants sur les circuits imprimés et les assemblages dans l'industrie de la fabrication électronique, la vitesse du processus est primordiale. Les codeurs linéaires nus LIC et LIDA de HEIDENHAIN répondent à ces exigences grâce aux valeurs extrêmes de leur répétabilité et des vitesses de déplacement. Les systèmes de mesure NUMERIK JENA et RSF sont parfaitement adaptés aux solutions personnalisées.

Systèmes de mesure linéaire LIC et LIDA de HEIDENHAIN
Série LIK de NUMERIK JENA
MC 15 et MS 15 de RSF

Positionnement exact des axes rotatifs

Les systèmes de mesure angulaire optiques modulaires de type ERO ou ERA sont également idéals pour les grands axes rotatifs qui sont montés dans les machines de fabrication de composants et de circuits imprimés. Les modules de mesure angulaire MRP sont particulièrement simples à utiliser et à monter. Ils combinent un système de mesure angulaire et un roulement de précision, formant ainsi un composant hautement intégré dont les propriétés sont spécifiées. De ce fait, les modules de mesure angulaire constituent une véritable alternative aux axes sur coussin d’air et permettent d’éviter les opérations d'ajustement complexes après le montage. Et comme alternative, vous trouverez chez RSF le codeur angulaire absolu MCR 15, spécialement conçu pour les entraînements électriques.

 

Modulaires et optiques : les systèmes de mesure angulaire ERO et ERA de HEIDENHAIN
La précision facile à gérer : les modules de mesure angulaire MRP de HEIDENHAIN
L’alternative de RSF : le codeur angulaire absolu MCR 15

Positionnement dynamique avec ETEL

Que ce soit pour une table XY, un système à portique ou une table rotative, ETEL propose des solutions complètes de systèmes de mouvement avec une technologie de moteur à entraînement direct pour toutes les variantes de conception de machines. Ces systèmes très précis en positionnement, en géométrie et dynamiques permettent aux fabricants de machines de mettre en œuvre tous les mouvements requis par l’application.

Toutes les solutions ETEL optimisent l'utilisation de l'espace pour une conception de machine la plus compacte possible.

Systèmes de positionnement ETEL

Systèmes de mesure pour la technologie LED et la technologie des écrans de demain

Image de qualité exceptionnelle grâce à un positionnement linéaire exact

Les écrans ultraplats – du petit écran de smartphone au grand écran UHD de téléviseur – doivent également leur netteté, leur clarté et leur luminosité à la précision de positionnement des installations de fabrication dédiées à la technologie LED. Les systèmes de mesure linéaire à règle nue de HEIDENHAIN, NUMERIK JENA et RSF  assurent la précision de positionnement requise dans cette branche, tout comme dans les autres secteurs de l'industrie électronique.

HEIDENHAIN : règles en verre pouvant atteindre 5 m de long
Les modèles polyvalents de NUMERIK JENA
Codeurs linéaires modulaires de RSF

Précision maximale pour les axes rotatifs

Les codeurs angulaires optiques modulaires des séries ERO, ERP, ECA et ERA couvrent toutes les exigences de précision, de performance dynamique et de fiabilité pour les mouvements rotatifs dans la production de LED et d'écrans. Vous trouverez toujours un codeur dont les caractéristiques sont parfaitement adaptées à votre application.

Systèmes de mesure angulaire optiques modulaires

Précision élevée tout au long de la durée de vie :
Le traitement des signaux ASIC HSP 1.0

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Codeurs linéaires nus et valeurs de mesure stables à long terme

Cette brochure vous permet d’en savoir plus sur la manière dont HEIDENHAIN garantit la précision de ses systèmes de mesure à règle nue pendant toute leur durée de vie.
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Systèmes de mesure pour moteurs linéaires dans l'industrie électronique

Les systèmes de mesure de position sont déterminants pour les performances d’un moteur linéaire. Cette brochure vous donne un aperçu des interactions.
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Codeurs linéaires conçus pour être utilisés dans le vide

La technologie du vide joue un rôle essentiel dans la technologie électronique et la technologie des couches minces. La brochure vous explique comment les systèmes de mesure linéaire remplissent ces exigences particulières.
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Interfaces, signaux et électroniques d'interface

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